(1) Обработка перед PVD, включая очистку изделий и предварительную обработку.Конкретные методы очистки включают очистку моющими средствами, очистку химическими растворителями, ультразвуковую очистку и очистку с помощью ионной бомбардировки.
(2) Поместите их в печь, включая очистку вакуумной камеры и приспособлений, а также установку, ввод в эксплуатацию и подключение предметов и приспособлений.
(3) Вакуумирование, как правило, откачка до 6,6 Па или более, открытие передней части диффузионного насоса раньше, чтобы сохранить вакуумный насос и нагреть диффузионный насос.После достаточного предварительного нагрева верхний клапан открывают и откачивают до полунижнего вакуума 6 x 10-3 Па с помощью диффузионного насоса.
(4) Выпечка, выпекание предметов до желаемой температуры.
(5) Ионная бомбардировка, вакуум обычно составляет от 10 Па до 10-1 Па, напряжение ионной бомбардировки представляет собой отрицательное высокое напряжение от 200 В до 1 кВ, а время атаки составляет от 15 до 30 минут.
(6) Предварительное плавление, регулировка тока для предварительного плавления материала, регулировка тока для предварительного плавления покрытия и дегазация в течение 1 мин ~ 2 мин.Испаряющееся осаждение.Ток испарения регулируется по мере необходимости до тех пор, пока не закончится желаемое время осаждения.Охлаждение, изделия охлаждаются до определенной температуры в вакуумной камере.
(7) После того, как предметы извлечены, вакуумная камера закрывается, вакуум сбрасывается до l × l0-1Pa, а диффузионный насос охлаждается до допустимой температуры, прежде чем можно будет отключить насос обслуживания и охлаждающую воду.